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【央视新闻客户端】

3月25日
，盛剑科技国产半导体制程附属设备及关键零部件项目（一期）正式投产
。

此前，为进一步深化在半导体产业链的布局 ，盛剑科技与嘉定工业区管理委员会签订投资协议。项目用地约27728.6平方米，计划总投资约6亿元
，致力于打造一个集研发
、制造、销售和维保服务为一体的国产先进半导体附属设备及关键零部件平台 。

上海盛剑科技股份有限公司副总经理聂磊介绍：“盛剑科技国产半导体制程附属设备及关键零部件项目是我们在半导体产业链的延伸布局，有助于提升国产半导体制程附属设备及关键零部件的生产能力 、运维能力和产业竞争力
。 ”?据介绍 ，该项目主要生产工艺废气处理设备、真空设备以及温控设备等。这些设备在半导体制程中发挥着关键作用
，能够辅助控制半导体制程设备的反应腔，使其满足刻蚀
、离子注入、扩散及薄膜沉积等工艺的环境要求 。

聂磊表示：“目前 ，我们围绕半导体先进制程前瞻工艺
，持续开展技术研发攻关，在真空 、温控 ，包括新型废气处理的关键技术方面实现多项突破
，未来将有更多迭代产品在新工厂下线投产
。”?

此外，该项目在设计之初就将数字化
、智能化和绿色化写进了工厂的“基因
”里 ，目标打造规模化的绿色智慧工厂。聂磊表示：“在整个生产过程中
，我们尽可能提升自动化水平 。例如，在屋顶安装光伏系统以实现低碳管理
。后续还将引入更多自动化测试线 ，深度融合数字化、智能化和绿色化。”

当前，嘉定区正大力支持企业智能化和绿色化发展 。一方面
，修订出台区级技改政策，降低项目门槛 ，提高奖励上限
，支持企业进行智能化改造和数字化转型，计划年内培育20家以上智能工厂；另一方面 ，鼓励企业推广先进绿色技术
，开展节能技术改造和绿色工厂建设，推动循环经济发展。

区委常委 、常务副区长陆祖芳出席活动
。

撰稿：李华成

摄像：黄佳星

编辑：李蓝玉